بررسی آلائیدگی در لایه های نازک اکسید روی
پایان نامه
- وزارت علوم، تحقیقات و فناوری - دانشگاه گیلان - دانشکده علوم پایه
- نویسنده سیامک گلشاهی
- استاد راهنما سید محمد روضاتی
- تعداد صفحات: ۱۵ صفحه ی اول
- سال انتشار 1389
چکیده
انباشت لایه های نازک اکسید روی غیر آلائیده و همچنین آلایش یافته با عناصر قلع، نیتروژن و استفاده همزمان نیتروژن و عناصر گروه iii با استفاده از روش اسپری پایرولیزز مد نظر می باشد. هدف، بهبود خواص فیزیکی لایه های اکسید روی با استفاده از عناصر آلاینده است و از این رو توجه خاصی به تغییر نوع رسانش از n به p در اثر آلایش ساختار صورت گرفته. دسترسی به لایه هایی با خواص ایده آل از نوع n و p امکان معرفی نتایج این تحقیق را برای ساخت ادوات اپتوالکترونیکی شفاف فراهم می آورد. خواص مختلف فیزیکی لایه ها توسط روش های مشخصه یابی مختلف بررسی شده است. جهت بررسی خواص الکتریکی از آزمایش اثرهال بهره جسته ایم. طیف سنجی نوری و همچنین آنالیز فوتولومینسانس جهت بررسی خواص اپتیکی و همچنین ردیابی ترازهای وابسته به عناصر ناخالصی مورد استفاده می باشند. آنالیز xps جهت یافتن ترکیبات شیمیایی غالب بر سطح لایه ها و همچنین پراش پرتوx جهت بررسی ساختار بلوری لایه ها مورد استفاده بوده است. بررسی مورفولوژی سطح و میزان زبری آن توسط آنالیزهای sem و afm تعیین شده اند. نتایج آلایش اکسید روی با قلع جز معدود مواردی که رسانش نوع p را بدست می دهد، در اکثر موارد لایه هایی با رسانش نوعn و خواص پایدار فیزیکی را موجب می گردد. آلایش اکسید روی با نیتروژن موجب ساخت نمونه هایی با رسانش p پایدار می گردند و در مورد استفاده همزمان نیتروژن با عناصر گروه iii به عنوان آلایش اکسید روی، گالیم بهترین خواص را ارائه می دهد. در تمامی موارد بررسی مورفولوژی سطح نشان از کارایی روش انباشت اسپری پایرولیزز جهت تهیه نانو لایه هایی با مورفولوژی های یگانه می باشد انباشت لایه های نازک اکسید روی توسط تبخیر با باریکه الکترونی که از دسته روش های فیزیکی بخارات است نیز مورد مطالعه قرار گرفته است. نتایج گویای دسترسی به حالت بهینه انباشت در دماهای بالا (مثل ?250) می باشد. استفاده از فرایند بازپخت در دماهای کمتر از دمای انباشت مفید گزارش می شود و در دماهای بالاتر افت شدیدی در خواص مختلف فیزیکی لایه ها دیده می شود.
منابع مشابه
بررسی تاثیر کاشت یون نیتروژن بر خواص لایه نازک اکسید روی (ZnO)
در این پژوهش، اثر کاشت یون +N در نیمرسانای ZnO (اکسید روی) جهت بررسی تغییرات خواص لایۀ نازک ZnO بررسی شده است. بدین منظور لایۀ نازکی از ZnO به ضخامت nm ١٢۰ با استفاده از روش کندوپاش تهیه شد و سپس به وسیلۀ یونهای N+ با انرژی keV ۵۰ و شار ١۰١٤ (/cm2یون) به مدت زمان ۳ ثانیه بمباران شد. تأثیر کاشت یون+N در خواص بلوری ZnO توسط آنالیزXRD (پراش پرتو X) و تغییرات ریختشناسی سطح به وسیلۀ آنالیزهای AF...
متن کاملبررسی خواص ساختاری و اپتیکی لایه های نازک اکسید ایندیم قلع
در این تحقیق، لایه های نازک اکسید ایندیم قلع (ITO) به روش تبخیر با پرتو الکترونی بر روی زیرلایه های شیشه ای. با ضخامتهای اسمی 50، 100، 170 و 250 نانومتر، با نرخ انباشت ثابت 10/0 نانومتر بر ثانیه لایه نشانی شده اند. دمای زیرلایه ها در خلال لایه نشانی در دمای 400 درجه سانتیگراد ثابت نگه داشته شد. از تکنیک های پراش پرتو ایکس (XRD) و بازتاب سنجی اشعه ایکس (XRR) برای آنالیز ساختاری لایه های نازک اس...
متن کاملساخت آندهای لایه نازک نانوساختار اکسید قلع آلاییده شده با فلز روی برای میکروباتریهای یون- لیتیمی
در این تحقیق، لایههای نازک نانوساختار اکسید قلع خالص و آلاییده شده با فلز روی به روش لایهنشانی اشعه الکترونی لایهنشانی شدند. پراش اشعه ایکس از لایههای نازک ایجاد شده وجود اکسید قلع آمورف با ترکیب شیمیایی (SnO) را نشان داد. سیکل عملیات حرارتی در دمای °C 500 و به مدت 10 ساعت بر روی فیلمهای نازک تشکیل شده انجام شد که منجر به ایجاد ساختار تتراگونال دی اکسید قلع (SnO2) نانوساختار شد. تصاویر میک...
متن کاملبررسی ساختاری لایه های نازک CdS ساخته شده روی زیرلایه های با شرایط متفاوت
لایه های نازک سولفید کادمیم، با استفاده از روش تبخیر آنی با نرخ لایه نشانی nm/s 5/2 و ضخامت تقریبی nm 800 در خلاء )6-10 5 تور( ساخته شدند. در این پژوهش، به منظور مطالعه آثار زیرلایه روی خواص ساختاری نمونه ها، از دو نوع زیر لایه، شیشه و ( ITO )Indium Tin Oxide استفاده گردید. خواص ساختاری نمونه ها توسط پراش اشعه ایکس مورد بررسی قرار گرفت. محاسبه پارامترهای ساختاری آشکار نمود که نمونه ه...
متن کاملتأثیر اتمسفر فرآیند پخت روی خواص الکتریکی و نوری لایه نازک نانو ساختار اکسید روی دارای آلایش آلومینیوم و تیتانیم
در این تحقیق لایه نازک نانو ساختار اکسید روی دارای آلایش آلومینیوم و تیتانیم (ATZO) به روش سل ژل تهیه گردید. آنالیز فازی توسط تکنیک پراش پرتو ایکس (XRD)، مشاهدات ریز ساختاری و آنالیز عنصری توسط میکروسکوپ الکترونی روبشی گسیل میدانی (FE-SEM) و ابزار طیف سنج تفکیک انرژی (EDX) انجام شده و زبری سطح با استفاده از میکروسکوپ نیروی اتمی (AFM) مورد بررسی قرار گرفت. نتایج XRD نشان داد که حضور اتمسفر احیا...
متن کاملمنابع من
با ذخیره ی این منبع در منابع من، دسترسی به آن را برای استفاده های بعدی آسان تر کنید
ذخیره در منابع من قبلا به منابع من ذحیره شده{@ msg_add @}
نوع سند: پایان نامه
وزارت علوم، تحقیقات و فناوری - دانشگاه گیلان - دانشکده علوم پایه
کلمات کلیدی
میزبانی شده توسط پلتفرم ابری doprax.com
copyright © 2015-2023